在半导体制造中,光学系统对颗粒污染极为敏感。Sinto Advanced Ceramics Europe(前身为博世先进陶瓷)近日开发了一款3D打印的多功能激光光学系统保护帽,将防护与真空引导功能集成于单一陶瓷结构中。该部件尺寸仅为20×20×6.5-12毫米,采用钇稳定氧化锆材料,兼具高强度、断裂韧性及出色的耐磨性和化学稳定性。
该保护帽利用陶瓷光固化3D打印的设计自由度,将物理防护功能与集成真空通道相结合,主动清除光学系统周围的颗粒物。安装和紧固结构也直接集成于设计中。氧化锆材料的高耐磨性避免了部件自身磨损成为污染源,使其成为需要严格颗粒控制的应用中的理想选择。
该部件展示了陶瓷增材制造在高端工业应用中的价值:几何形状由性能需求而非加工限制定义;单一结构替代了原本需要多个系统实现的功能组合;设计变更无需昂贵模具或长交付周期。Sinto Advanced Ceramics Europe表示,这一方案为半导体制造中的设计工程师提供了新的自由度。
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